Sprzęt do cienkowarstwowych-łuków PVD

Przemysłowy system Multi-Arc PVD wykorzystuje-fizyczne osadzanie z fazy gazowej za pomocą katodowego łuku jonizacyjnego do osadzania gęstych, stechiometrycznych twardych powłok (takich jak TiN, TiAlN, CrN i DLC) na podłożach metalowych. Zaprojektowany z myślą o-centrach powlekania kontraktowego o dużej objętości i liniach produkcyjnych na potrzeby własne, system ten optymalizuje odporność na zużycie, redukcję tarcia i stabilność termiczną precyzyjnych komponentów.

Filtrowane źródła łuku katodowego:Filtrowanie magnetyczne minimalizuje powstawanie makrocząstek (kropel), zapewniając gładsze wykończenie powierzchni (Ra < 0,1 um).

Konfiguracja magnetronu z niesymetrycznym polem zamkniętym-: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

Podwójna-regulacja przepływu gazu:Sterowanie ze sprzężeniem zwrotnym w-pętli zamkniętej przy użyciu manometrów pojemnościowych i-wysoko precyzyjnych MFC dla gazów reaktywnych (N2, C2H2, O2).

Modułowe źródła osadzania:Wymienne układy planarne i cylindryczne umożliwiają szybkie przełączanie celów w architekturach wielo-warstwowych.

Pompa zgrubna:Mechaniczne podłoże z łopatką obrotową lub suchą śrubą w celu wyeliminowania cofania się oleju.

Pompa wysokiej próżni: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) w połączeniu z dmuchawą do korzeni.

Uszczelnienia i zawory:Pneumatyczne zasuwy, kołnierze ISO-F/CF z uszczelkami Viton/metal; współczynnik nieszczelności spektrometru mas z helem < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Monitorowanie ciśnienia:Połączone mierniki jonizacji Piraniego i zimnej katody.

Standardowe cele katodowe:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Materiały podłoża:Węgliki spiekane (WC-Co), HSS, stale stopowe (SKD11, 40Cr), stopy tytanu (Ti-6Al-4V) i stal nierdzewna (304, 316L).

Leczenie wstępne-:Wymaga odtłuszczania ultradźwiękowego i-trawienia jonami w plazmie argonowej in situ (bombardowanie Ar+) w celu wyeliminowania tlenków powierzchniowych przed osadzeniem.

Narzędzia do cięcia i formowania:Frezy trzpieniowe, frezy obwiedniowe i płytki pokryte TiAlN/TiN wydłużające żywotność narzędzia o 200% - 400% w przypadku obróbki na sucho.

Komponenty samochodowe:Pierścienie tłokowe, sworznie wtryskiwaczy i popychacze pokryte CrN/DLC w celu zmniejszenia tarcia granicznego i zatarcia.

Urządzenia medyczne:Śruby ortopedyczne, ostrza chirurgiczne i filary dentystyczne wykorzystujące TiN/ZrN w celu zapewnienia biokompatybilności i odporności na korozję.

Sprzęt przemysłowy:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

Rozmiar komory:Dostosowane średnice wewnętrzne i profile wysokości skalowane do określonych objętości partii lub ponadgabarytowych detali.

Układ katody:Od 4 do 12 konfigurowalnych szczelin źródeł łuku rozmieszczonych symetrycznie, aby zapewnić rozkład grubości w zakresie +/- 8%.

Integracja odchylenia:Opcjonalna integracja hybrydowa-pulsacyjnego rozpylania magnetronowego (HPPMS) ze standardowymi źródłami łuku katodowego.

Automatyzacja:Integracja z automatycznymi ramionami załadowczymi i systemami realizacji produkcji SCADA.

Kontrola materiału:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Testy strukturalne:Weryfikacja wymiarowa komór CMM i badanie ciśnienia hydrostatycznego kanałów chłodzących.

Fabryczne testy akceptacyjne (FAT):72-godziny ciągłego testu-na sucho, obejmującego rotację mechaniczną, krzywe odpompowywania i stabilność termiczną.

Weryfikacja powłoki:Kupony testowe oceniano za pomocą testu-na-dysku zużycia, wcięcia Rockwella i-analizy grubości przekroju poprzecznego FESEM.

Przygotowanie miejsca:Szczegółowa dokumentacja inżynierska dotycząca ograniczeń obciążenia podłogi, natężenia przepływu wody chłodzącej i wymagań dotyczących szyn elektrycznych.

Uruchomienie:Instalacja-na miejscu, kalibracja próżniowa i przekazanie receptury procesu bazowego przez inżynierów terenowych.

Szkolenie operatora:Ustrukturyzowane programy obejmujące rutynową konserwację, wymianę elementów docelowych, poszukiwanie wycieków i podstawowe rozwiązywanie problemów ze sterownikami PLC.

Wsparcie cyklu życia:Integracja zdalnego interfejsu diagnostycznego w celu-rejestrowania parametrów w czasie rzeczywistym i szybkiego izolowania usterek.