Przegląd produktu
Przemysłowy sprzęt do powlekania wielo-łukowego, zaprojektowany do nakładania twardych powłok, folii funkcjonalnych i dekoracyjnych wykończeń PVD na precyzyjne komponenty. Wykorzystując wysoko-prąd i niskie-napięcie wyładowania łukowego próżniowego, system bezpośrednio odparowuje stałe materiały docelowe (Ti, Cr, Al, Zr). W połączeniu z reaktywnymi gazami (N2, O2, C2H2) syntetyzuje gęste azotki, węgliki i tlenki metali przejściowych bezpośrednio na podłożach metalicznych.
To gotowe rozwiązanie PVD, zbudowane w oparciu o modułową architekturę komory próżniowej, obsługuje różne skale produkcyjne-od przetwarzania wsadowego w ramach prac badawczo-rozwojowych po zautomatyzowaną-produkcję inline o wysokiej wydajności. System jest zoptymalizowany pod kątem wysokiego wykorzystania docelowego i niskiego całkowitego kosztu posiadania (TCO) w środowiskach przemysłowych działających nieprzerwanie przez całą dobę, 7 dni w tygodniu.
-
![Sprzęt do osadzania próżniowego z wieloma{{0}łukami]()
Sprzęt do osadzania próżniowego z wieloma{{0}łukamiTen system osadzania próżniowego z wieloma-łukami wykorzystuje technologię katodowego powlekania łukiem jonowym do osadzania gęstych,-twardych powłok o wysokiej przyczepności na podłożach...Zobacz więcej -
![System osadzania jonów z wieloma-łukami łukowymi]()
System osadzania jonów z wieloma-łukami łukowymiThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% jonizacja stałego materiału...Zobacz więcej -
![Sprzęt do cienkowarstwowych-łuków PVD]()
Sprzęt do cienkowarstwowych-łuków PVDPrzemysłowy system Multi-Arc PVD wykorzystuje-fizyczne osadzanie z fazy gazowej za pomocą katodowego łuku jonizacyjnego do osadzania gęstych, stechiometrycznych twardych powłok (takich jak TiN,...Zobacz więcej -
![Sprzęt do osadzania jonów z wieloma-łukami łukowymi]()
Sprzęt do osadzania jonów z wieloma-łukami łukowymiPrzemysłowy system osadzania jonów z wieloma-łukami łukowymi generuje gęste,-cienkie warstwy o wysokiej przyczepności poprzez odparowanie łuku katodowego przy wysokim-prądzie i niskim-napięciem....Zobacz więcej -
![System cienkowarstwowy z wieloma-łukami jonowymi]()
System cienkowarstwowy z wieloma-łukami jonowymiPrzemysłowy system cienkowarstwowy Multi-Arc Ion wykorzystuje katodowe odparowanie łukowe do osadzania gęstych,-powłok ceramicznych i metalicznych o wysokiej przyczepności na podłożach metalowych...Zobacz więcej -
![Sprzęt do cienkowarstwowych-wielu łuków jonowych]()
Sprzęt do cienkowarstwowych-wielu łuków jonowychTen wielołukowy system powlekania jonowego wykorzystuje katodowe odparowanie łukowe do osadzania gęstych,-twardych powłok o wysokiej przyczepności i funkcjonalnych cienkich warstw. Zajarzając łuk...Zobacz więcej
Dane techniczne
|
Parametr |
Zakres specyfikacji |
Jednostka / Uwaga |
|
Wymiary komory |
Ф600 x 600 do Ф1500 x 1800 |
mm (niestandardowe konfiguracje pionowe lub poziome) |
|
Ostateczne ciśnienie próżniowe |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (pompa sucha + zestaw turbo-molekularny / dyfuzyjny olejowy) |
|
Źródła łuku katodowego |
4 do 16 jednostek |
Elektromagnetyczne sterowane lub filtrowane źródła łuku (FCA) |
|
Moc odchylenia podłoża |
0 do -1000 |
V (zaawansowane możliwości polaryzacji impulsowej DC/MF) |
|
Temperatura ogrzewania |
Temperatura pokojowa do 600 |
C (promienniki sterowane PID) |
|
Jednolitość osadzania |
<= +/- 5% |
Mierzone za pomocą XRF w efektywnej strefie pracy |
|
System sterowania |
PLC + komputer przemysłowy |
Automatyczne wykonywanie receptur, rejestracja danych SCADA |
|
Bezpieczeństwo i zgodność |
CE, ISO9001 |
Obudowy elektryczne zgodne z UL-dostępne na żądanie |
Sekwencja fizycznego osadzania gazowego działa w oparciu o ścisły, zautomatyzowany przepływ pracy w zamkniętej pętli-, aby zapewnić powtarzalność poszczególnych partii:-do-partii:
Ewakuacja i odgazowanie:
Komorę próżniową pompuje się do ciśnienia bazowego wynoszącego<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Wytrawianie plazmowe (bombardowanie):
Wprowadza się gaz argonowy. Do uchwytu podłoża przykładane jest duże ujemne odchylenie, generując jony Ar, które bombardują powierzchnię, usuwając natywne tlenki i mikro-zanieczyszczenia.
Parowanie i jonizacja łuku:
Prąd łuku prądu stałego uderza w solidną metalową katodę. Lokalna plamka katodowa osiąga ekstremalną gęstość energii, natychmiast odparowując materiał docelowy, tworząc strumień plazmy-o dużej gęstości (szybkość jonizacji > 80%).
Reaktywne osadzanie:
Gazy reaktywne są wtryskiwane do strumienia plazmy pod precyzyjnie kontrolowanym ciśnieniem cząstkowym za pośrednictwem kontrolerów przepływu masowego (MFC), tworząc stechiometryczne warstwy złożone na obracających się podłożach.
Chłodzenie i wentylacja:
Kontrolowane chłodzenie odbywa się w osłonie gazu obojętnego przed odpowietrzeniem komory, co zapobiega utlenianiu świeżo pokrytych części.
Materiały filmowe i właściwości powłok
System obsługuje układy z wieloma-metalowymi katodami, umożliwiając tworzenie architektur jednowarstwowych, wielowarstwowych, nano-kompozytowych i gradientowych:
TiN (azotek tytanu):
Standardowa złota powłoka; twardość 2200–2400 HV; współczynnik tarcia 0,4. Podstawowe zastosowanie: ogólne narzędzia skrawające i mechaniczne części eksploatacyjne.
TiAlN (azotek tytanu i glinu):
Odporność na utlenianie w wysokiej-temperaturze do 850 C; twardość 3000–3300 HV. Podstawowe zastosowanie:-wysokoobrotowe płytki do obróbki na sucho i zawory silników.
CrN / CrAlN (azotek chromu):
Doskonała odporność na korozję i niskie naprężenia wewnętrzne; właściwości przeciw-zatarciom metali nieżelaznych. Podstawowe zastosowanie: formy formujące, pierścienie tłokowe i elementy maszyn tekstylnych.
ZrN/TiCN:
Niska chropowatość powierzchni (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Aplikacje
Precyzyjne narzędzia tnące:
Frezy palcowe, wiertła, płyty frezarskie i płytki wymienne wymagające dłuższej trwałości narzędzia przy dużych obciążeniach termicznych.
01
Samochodowy układ napędowy:
Sworznie tłokowe, popychacze, elementy wtrysku paliwa i powierzchnie przekładni wymagające zmniejszonego tarcia granicznego i odporności na zacieranie.
02
Formy i matryce:
Formy wtryskowe z tworzyw sztucznych, tłoczniki i wkładki-do odlewania ciśnieniowego wymagające odporności na zużycie adhezyjne i zmęczenie cieplne.
03
Komponenty lotnicze:
Łopatki turbin i tytanowe elementy złączne pracujące w środowiskach agresywnych, korozyjnych i pod wysokim-naprężeniami.
04
Dostosowanie i konfiguracja systemu
Standardowe pozycje katalogowe rzadko idealnie pasują do dedykowanych układów fabrycznych. Konfiguracje sprzętu są dostosowywane w oparciu o konkretną geometrię komponentów, docelowy czas cyklu i ograniczenia obiektu:
Geometria komory:
Ośmioboczne lub cylindryczne komory ze stali nierdzewnej (SUS304/SUS316L) z podwójnymi-płaszczami-wodnymi chłodzącymi.
Układ źródłowy:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Mocowanie podłoża:
Mechanizmy obrotu planetarnego (3-osie) lub mechanizmy pojedynczego obrotu napędzane przepływem płynu magnetycznego, gwarantujące równomierne pokrycie powłoką na złożonych geometriach 3D.
Opcje stosu pompującego:
Dmuchawy Rootsa, obrotowe pompy łopatkowe, pompy kriogeniczne lub pompy turbomolekularne skonfigurowane tak, aby spełniały rygorystyczne{0}}czasy cykli pompowania.
Protokoły kontroli jakości i testów
Każda maszyna przed wysyłką przechodzi rygorystyczne testy akceptacji fabrycznej (FAT), udokumentowane do wglądu kupującego:
01
Test integralności próżni:
Wykrywanie wycieków helu z wykorzystaniem spektrometrii mas (wskaźnik wycieku<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Bezpieczeństwo elektryczne i oparzenia-w:
72-godzinna ciągła praca na sucho zasilaczy, blokady chłodzenia wodnego i logika automatyki PLC.
03
Weryfikacja powłoki (-własne laboratorium):
Próbki testowano za pomocą testu Calo-(grubość powłoki), wcięcia Rockwella (siła przyczepności) i nanowcięcia (twardość).
Instalacja, uruchomienie i wsparcie techniczne
Wytyczne dotyczące przygotowania miejsca:
Dostarczono szczegółowe rysunki rozmieszczenia mediów dotyczące przepływu/ciśnienia wody chłodzącej, sprężonego powietrza, wentylacji wyciągowej i wymagań dotyczących szyn elektrycznych.
SAT i uruchomienie:
Instalacja-na miejscu (testowanie akceptacji na miejscu), kalibracja próżniowa i przekazanie podstawowej receptury wykonane przez starszych inżynierów procesu PVD.
Szkolenie procesowe:
Praktyczne-szkolenie operatorów obejmujące harmonogramy wymiany katod, zapobiegawczą konserwację próżni, rozwiązywanie problemów i podstawową optymalizację receptur.
Wsparcie części zamiennych:
Krytyczne komponenty zużywalne (katody, osłony, izolatory i uszczelki) dostępne w magazynie z możliwością wysyłki na cały świat w ciągu 48 godzin.
Często zadawane pytania
Jesteśmy dobrze-znani jako jeden z wiodących producentów i dostawców sprzętu cienkowarstwowego z wieloma-łukami łukowymi w Chinach. Jeśli zamierzasz kupić niestandardowy sprzęt cienkowarstwowy z wieloma-łukami łukowymi wyprodukowany w Chinach, zapraszamy do zapoznania się z cennikiem z naszej fabryki. W celu konsultacji cenowej skontaktuj się z nami.
cienki warstwowy sprzęt ciągły, Sprzęt cienki do MEMS, Sprzęt cienki dla czujników i siłowników
