Sprzęt cienkowarstwowy wzmocniony plazmą

Urządzenia cienkowarstwowe wzmocnione plazmą to technologia powlekania czystymi jonami (wiązka czystych jonów), technologia czyszczenia wiązką jonów o wysokiej-energii (wiązka jonów), technologia napylania magnetronowego (napylanie) i osadzanie z fazy gazowej w zamknięciu magnetycznym (uwięzienie magnetyczne-CVD) to cztery technologie w jednej, będące doskonałym połączeniem technologii PVD i technologii CVD.

Urządzenia cienkowarstwowe wzmocnione plazmą zapewniają bardziej elastyczną kombinację procesów, aby sprostać różnorodnym złożonym potrzebom produktu, a jego wydajny proces hybrydowy zapewnia więcej możliwości projektantom procesów.

Sprzęt cienkowarstwowy wzmocniony plazmą Krótkie wprowadzenie na temat funkcji sprzętu:

(1) Źródło czystej powłoki jonowej, wykorzystujące wydajny system filtracji elektromagnetycznej, skutecznie usuwa cząsteczki, uzyskuje wiązkę jonów o wyższej czystości, pomaga poprawić twardość powłoki i siłę wiązania;

(2) Wysokoenergetyczne źródło czyszczenia wiązką jonów, wykorzystujące specjalnie zaprojektowaną strukturę wyładowania, skutecznie kompatybilne z aktywacją czyszczenia plazmowego, pomocniczą jonizacją, niezależnym osadzaniem i innymi funkcjami;

(3) Źródło rozpylania magnetronowego, wykorzystujące innowacyjną konstrukcję pola magnetycznego, skutecznie poprawia docelowy stopień wykorzystania o ponad 30%;

(4) Magnetycznie ograniczone źródło naparowywania, niezawodna i łatwa w utrzymaniu konstrukcja, może osiągnąć szybkie i dokładne osadzanie powłoki.

Typowe rodzaje powłok:

(1) Me-TAC, metalowa powłoka kompozytowa TAC, szeroko stosowana

(2) Me-DLC, metalowa powłoka kompozytowa DLC, szeroko stosowana

(3) Powłoki kompozytowe Me-TAC-DLC, TAC-DLC, pomimo uzyskania wyższej twardości podstawowej i siły wiązania TAC, charakteryzują się szybkością osadzania i delikatnym wyglądem DLC.

ekspresowe urządzenia cienkowarstwowe wzmocnione plazmą mogą realizować kombinację TAC-DLC, która znacznie poprawia siłę wiązania w porównaniu z prostym CVD, jednocześnie zmniejszając wielkość cząstek PVD i skracając czas procesu.

ekspresowe urządzenia cienkowarstwowe wzmocnione plazmą mogą realizować różnorodne procesy osadzania folii C, czystego powlekania jonowego TAC, wyładowania magnetycznego DLC, powlekania źródłem jonów warstwy anodowej DLC itp.

ekspresowy sprzęt cienkowarstwowy wzmocniony plazmą jest wyposażony w elektromagnetyczne urządzenie skanujące i oprogramowanie, które może kontrolować kierunek wiązki plazmy w ustalonym punkcie i czasie, znacznie poprawiając problem jednolitości powłoki, a jednorodność całej warstwy folii pieca jest kontrolowana poniżej ± 5%;》Zoptymalizowana konstrukcja pola magnetycznego i konstrukcja chłodzenia, łatwa konserwacja, dobra stabilność sprzętu;

ekspresowy Przyjazny interfejs człowiek-maszyna,-rejestracja danych procesowych w czasie rzeczywistym, sprzyjająca kontroli jakości, trudnej analizie, opracowywaniu nowych procesów;

express Ten projekt jest sprzętem pod klucz, firma Pure Source zapewnia kompletne rozwiązanie, w tym stabilną formułę dojrzałej powłoki.